|
МОДУЛИ
Модуль загрузки ЗМП
Модуль разгрузки РМП
Модуль травления ТМ1
Модуль травления ТМ1,5
Модуль травления ТМ2
Модуль струйной обработки однокамерный с рециркуляцией СОМ1Р
Модуль струйной обработки однокамерный с рециркуляцией СОМ2Р
Модуль струйной обработки двухкамерный с рециркуляцией и подачей освежающей воды в выходную зону СОМ2РК
Модуль раздубливания РФМ
Модуль снятия фоторезиста СФМ
Модуль конвейерный МК1, МК2
Модуль горячей сушки ГСМ
Лоток разгрузочный ЛР
Модуль химической регенерации щелочного травильного раствора МХРЩ
Модуль химической регенерации кислого травильного раствора МХРК
|
